Photovoltaik-Beschichtungstechnologie: Vakuumlösungen aus der Forschung für die Serienherstellung

Oerlikon Leybold Vacuum präsentierte das UNIVEX-Beschichtungssystem für Forschung und Experimente zusammen mit den neuen DRYVAC-Pumpsystemen auf der Intersolar North America, vom 13. bis 15.07.2010 im Moscone Center in San Francisco. Das von Oerlikon Leybold Vacuum angebotene Vakuumgesamtsortiment unterstützt alle Photovoltaik-Herstellungsprozesse im Grobvakuum, Feinvakuum, Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Pumptechnologien, Systeme und Dienstleistungen umfassen Bauteile, standardisierte Systeme und komplette kundenspezifische Vakuumlösungen.

Das Lieferprogramm umfasst ölgedichtete Drehschieber- und Kolbenpumpen, trocken verdichtende und ölfreie Pumpen, Wälzkolbenpumpen, Turbomolekular-, Öldiffusions- und Kryo-Vakuumpumpen sowie Standard- und kundenspezifische Beschichtungssysteme für die Forschung. Die Vakuumdienstleistungen zur Reparatur und Modernisierung von Vakuumpumpen aller Hersteller vervollständigen das Spektrum an Vakuumprodukten.
Beginnend in der Photovoltaik-Forschung und bei den Nanotechnologien, bietet Oerlikon Leybold Vacuum seinen Kunden optimierte Vakuumlösungen bei verringerten Betriebskosten und erhöhter Produktionszuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit. Die wohlbekannte UNIVEX-Baureihe an universellen Experimentier-PVD-Vakuumbeschichtungssystemen zum Einsatz im Bereich von Forschung und Entwicklung sowie Pilot-Produktionsanwendungen ist verfügbar in Konfigurationen mit unterschiedlichen Vakuumkammergrößen unter Verwendung von Glocken-, Edelstahlrechteck-Kammern sowie Cluster-Werkzeugkonfigurationen. Die UNIVEX Systeme bieten serienmäßig viele Eigenschaften und Optionen, einschließlich Hochvakuumpumpsysteme, Stromversorgungen, SPS, eine Vielzahl von Substrathaltern, Schichtdicken- und Vakuummess- sowie Kühlungs- und Heizungs-Systemen, Durchführungen, Einblickfenster und Gaszuführungen. Eine Reihe verschiedener Modelle von thermischen und Elektronenstrahlverdampfern, Gleichspannungs- und Hochfrequenz-Zerstäubungsquellen, Verdampfer für organische Materialien sowie Schleusenkammerversionen ist erhältlich.
"Die Familie der UNIVEX Universal-Experimentiersysteme stellt ein weiteres Beispiel für moderne Vakuumprozesstechnik in einem schon sehr umfassenden Sortiment an schlüsselfertigen Vakuumsystemlösungen von Oerlikon Leybold Vacuum dar. Die Kunden können ihre Forschungs- und Entwicklungs- oder Pilotproduktions-Beschichtungssysteme aus einer Hand erwerben. Dabei können sie aus einem breit gefächerten Angebot an Standard- und Mehrzweck-Konfigurationen entsprechend ihrer spezifischen Anforderungen auswählen. Zusätzlich können sie bei der Auswahl der UNIVEX Systeme sich auf eine zuverlässige Unterstützung für ihr gesamtes Projekt, beginnend mit der ingenieurmäßigen Beratung, Installation und Schulung bis zur Wartung verlassen", so Brett A. Rock, Regional Marketing Manager bei Oerlikon Leybold Vacuum USA.
Der Anwendungsbereich von UNIVEX Systemen umfasst die Vakuumbeschichtung in Forschung und Entwicklung sowie der Pilot-Produktion – Solarenergieanlagen und Photovoltaik-Forschung, Sensortechnologie, Optoelektronik, passive Bauteile, Metallurgie, Löten, Fingerspurenauswertung, Handschuhintegration, Wärmeleitfähigkeitsexperimente und besondere Experimente.

Weltweit führend im Bereich der Vakuum- und Beschichtungs-Technologie. Oerlikon Leybold Vacuum konstruiert, produziert und vermarktet Vakuumpumpen und Beschichtungssysteme für eine Vielzahl von Vakuumanwendungen in der Photovoltaik und führt nun auch die neuen standardisierten DRYVAC Pumpsysteme ein.