Photovoltaik-Produktionstechnologie: Technologieallianz von Roth & Rau und InnoLas steigert Wirkungsgrad von PERC-Solarzellen in industrieller Fertigung um 1%
Das Verfahren hierfür, inklusive der vor- und nachgeschalteten Prozessschritte, wurde von Roth & Rau und InnoLas entwickelt und in enger Zusammenarbeit mit Endkunden in laufenden Produktionslinien verifiziert.
“Entscheidend ist, dass wir diesen Wirkungsgradzugewinn nicht nur unter Laborbedingungen erreichen, sondern auch in industriellen Fertigungslinien", betont InnoLas-Geschäftsführer Richard Grundmüller. "Unsere Technologie hat sich in den letzten Monaten als sehr robust bewährt und kann ab sofort in bestehende Produktionslinien integriert werden.”
Höherer Wirkungsgrad als Wettbewerbsvorteil
Eingesetzt werden eine Roth & Rau MAiA-PECVD Anlage für die Rückseitenpassivierung mit Aluminiumoxid und Siliziumnitrid sowie eine InnoLas Systems ILS TT für die Laserkontaktöffnung. Mit dieser Systemkombination werden Liniendurchsätze von bis zu 3.400 Wafern pro Stunde erzielt, womit den Durchsatzanforderungen einer hochmodernen industriellen Massenfertigung von Solarzellen entsprochen wird. Der höhere Wirkungsgrad stellt für die Zellenhersteller einen deutlichen Wettbewerbsvorteil dar.
„Wir haben die beiden notwendigen Beschichtungsprozesse für die Rückseitenpassivierung in die bewährte SiNA/MAiA-Plattform integriert. Die modulare Bauweise gewährleistet ein Optimum an Prozessflexibilität und Durchsatzvariabilität. Dadurch können die Konfigurationen leicht an bestehende Anforderungen angepasst und zusätzlich Betriebskosten gesenkt werden", erläutert Roth & Rau-Vertriebsvorstand Thomas Hengst.
"Eine erhöhte Prozesssicherheit entsteht durch das Aufbringen des AlOx- und des SiN-Cap Layers ohne Unterbrechung des Vakuums. Außerdem entfallen dadurch zusätzliche Handlingschritte, wodurch sich der Yield entsprechend verbessert. Sowohl Roth & Rau als auch InnoLas verfügen über umfassendes Know-How, um stabile und effiziente best-in-class Technologien zu implementieren.“
Neue Produktionstechnologie kann in bestehende Fertigungslinien integriert werden
Die von Roth & Rau und InnoLas Systems entwickelte Gesamttechnologie sei so konzipiert, dass diese sich auch in bestehende Fertigungslinien problemlos integrieren lasse und verstärke damit das Systemangebot der Meyer Burger-Gruppe in der Photovoltaik-Technologie. Aktuell seien mehrere Installationen mit dieser Technologie bei führenden Herstellern in Vorbereitung.
18.09.2012 | Quelle: Roth & Rau; InnoLas Systems | solarserver.de © EEM Energy & Environment Media GmbH
